Product Description
作为专业的碳化硅晶锭生产厂商,苏州恒迈瑞材料科技也可提供碳化硅切割片已经碳化硅衬底片。碳化硅切割片等级涵盖产品级,研究级以及测试级。从晶锭切割而来的碳化硅切割片,客户购买后可用于测试各类加工设备/零备件。
碳化硅材料有半绝缘型和导电型两种衬底。
半绝缘型主要应用于以5G通信、国防军工、航空航天为代表的射频领域;导电型主要用于制造功率器件,用在以新能源汽车、“新基建”为代表的电力电子领域。碳化硅之所以适合做功率器件,根由在于其材料性能。碳化硅的禁带宽度是硅的3倍,热导率是硅的3倍,电子饱和速率是硅的2倍,最重要的是临界击穿电场是硅的8-10倍。因此,碳化硅器件有耐高温、低导通电阻、开关速度快、耐高压等特点,使得碳化硅系统更小、更轻、能效更高、驱动力更强。
碳化硅是硬脆材料,硬度仅次于金刚石,加工难度较大。简单的衬底加工工序是从晶锭出来,做多线切割,做倒角,然后做研磨、CMP、清洗、检验,最后出货。
相比于Si衬底,第三代半导体碳化硅衬底具有更好的电气特性,耐高压、耐高温,可实现高频和低能量损耗,大幅减小器件尺寸。①耐高压:击穿电场强度大,是Si的10倍,可极大提高耐压容量、工作频率和电流密度,大大降低器件的导通损耗;②耐高温:SiC相较Si拥有更高的热导率,使得器件散热更容易,极限工作温度更高,带来功率密度的显著提升,降低对散热系统的要求,使终端更轻量小型化;③高频和低能耗:相比于Si基器件,碳化硅器件具有低导通损耗、低功率损耗、低开关损耗的优势。
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